Fotografia al microscopio della
superficie del PERMA KOTE
Grafite rivestita in Carburo di
Silicio (SiC)
(PERMA KOTE)
Con la rapida crescita di dispositivi
a semi-conduttore a densita' sempre piu' elevata, e' cresciuto
il fabbisogno di una grafite sempre piu' pura, in modo da
ridurre l'emissione di gas sulla superficie in carbone e
l'ammontare di polvere ed impurita'. Ottenuto tramite la
deposizione di una pellicola superficiale in SiC (carburo di
silicio) utilizzando il processo CVD (Chemical
Vapour Deposition), il materiale PERMA KOTE e' molto impiegato
nell'industria per la produzione dei semi-conduttori.
Grafite ricoperta in Carburo di Silicio (PERMA
KOTE)
Grafite rivestita in SiC (PERMA
KOTE)
Suscettore tipo Pancake
I suscettori sono utilizzati in
processi che formano la pellicola epitassiale sui wafer per
semi-conduttori. Indipendentemente dal tipo (a forma pancake o
barrel) e' richiesto un rivestimento in SiC.
Grafite rivestita in SiC (PERMA
KOTE)
Suscettore tipo Barrel
PERMA KOTE e' un prodotto in grafite
rivestito con Carburo di Silicio altamente purificato, con una
elevata resistenza alla temperatura e alla corrosione.
Con la rapida crescita di dispositivi a
semi-conduttore a densita' sempre piu' elevata, e' cresciuto il
fabbisogno di una grafite sempre piu' pura, in modo da ridurre
l'emissione di gas sulla superficie in carbone e l'ammontare
di polvere ed impurita'. Ottenuto tramite la deposizione di una
pellicola superficiale in SiC (carburo di silicio) utilizzando
il processo CVD (Chemical Vapour Deposition), il materiale
PERMA KOTE e' molto impiegato nell'industria per la produzione dei
semi-conduttori.
Il PYROGRAPH e' un prodotto di elevata
purezza sul quale viene depositato del carbone pirolitico
utilizzando un nostro originale processo CVD. Ha l'effetto di
ridurre la permeabilita' al gas e di prevenire le reazioni;
pertanto viene spesso impiegato in componenti per dispositivi
analitici o per parti di reattori ad alta temperatura.
Il PERMA-FOIL e' un foglio flessibile in
grafite, ottenuto con un processo speciale dalla grafite naturale
senza utilizzare leganti. Il processo speciale che abbiamo
sviluppato da' al prodotto una flessibilita' e una recupero dalla
compressione non comune nei prodotti convenzionali in grafite.
Queste caratteristiche assicurano una perfetta 'corrispondenza tra
le parti in contatto; percio' viene ampiamente utilizzato nel
settore automobilistico e per l'imballaggio.
Il composto C/C e' un materiale composito
carbone-carbone rinforzato da fibre di carbonio ad alta
resistenza, allo scopo di irrobustire e aumentare la resistenza
agli impatti dei materiali in carbonio. E' un materiale in
carbonio "high-tech" che viene impiegato sia per scopi
industriali generici, sia nell'industria aereonautica, che in
quella dei semi-conduttori. Per incontrare le esigenze
diversificate del 21mo secolo, il gruppo Toyo Tanso offre una
tipologia a filamento avvolto nella nostra serie FW e una
tipologia ad intreccio bi-dimensionale nella nostra serie CX.
GLASTIX KOTE e' un substrato in grafite
impregnato o rivestito in carbone vetroso. Ha l'effetto di
prevenire la polvere e migliorare la durezza superficiale;
viene pertanto ampiamente impiegato nell'industria dei
semi-conduttori e nei settori metallurgici.